| 參數 | 名稱 |
| Ra | 算術平均粗糙度 (Ra) |
| Rq | 輪廓均方根偏差 |
| Rt | 輪廓大高度 |
| Rv, Rm | 輪廓大波谷深度 |
| Rp | 輪廓大波峰高度 |
| Rpm | 輪廓平均波峰高度 |
| Rz | 輪廓平均高度 |
| Rmax | 大粗糙度深度 |
| Rc | 輪廓不規則性的平均高度 |
| Rz(iso) | 粗糙度高度 |
| Ry | 輪廓大高度 |
| Wt, W | 波紋度高度 |
| S | 輪廓局部波峰平均距離 |
| Sm, RSm | 輪廓不規則性的平均距離 |
| D | 輪廓波峰密度 |
| Pc | 波峰密度 |
| HSC | 高現貨計數 |
| la | 輪廓平均波長 |
| lq | 輪廓均方根波長 |
| Da | 平均傾斜 |
| Dq | 傾斜均方根 |
| Lo | 發展概況長度 |
| lr | 輪廓長度比率 |
| Rsk,Sk | 失真度 |
表面拋光定義:
Ra: Ra是粗糙度輪廓縱坐標的值的算術平均值.也就是通常所說的算術平均值(AA),中線平均值(CLA).平均粗糙度是粗糙度輪廓及其等分線之間的區域,或者超過評定長度的粗糙度輪廓高度的值的積分。
Rz: Rz是連續取樣長度的粗糙度深度的算術平均值.Z是一個取樣長度內,高峰值和低谷值的高度總和。
取樣長度λc: 是輪廓濾波器決定哪個波長屬于粗糙度及哪個屬于波紋度。
取樣長度: 是粗糙度評定的參考.它的長度等于cutoff的波長。
行程長度: 是當傳感器獲得可跟蹤的輪廓時,走過的總長度.它是預行程,評定長度和標定行程的總和。
評定長度: 是行程長度的一部分,來自于選取表面參數值的位置。
預行程: 是行程長度的*部分。
標定行程: 是行程長度的后一部分。
取樣長度的選取λc
| 輪廓 | 取樣長度 | 取樣/評定長度 |
| Rz (μm) | Ra (μm) | λc (mm) | lr / ln (mm) |
| Up to .1 | Up to .02 | .08 | .08 / .4 |
| Over .1
up to .5 | Over .02
up to .1 | .25 | .25 / 1.25 |
| Over .5
up to 10 | Over .1 up top 2 | .8 | .8 / 4 |
| Over 10
up to 50 | Over 2 up to 10 | 2.5 | 2.5 / 12.5 |
| Over 50
up to 200 | Over 10 up to 80 | 8 | 8 / 40 |
相關關鍵字：涂層測厚儀/測厚儀/粗糙度儀/表面粗糙度儀/便攜式粗糙度儀
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